蔡司場發(fā)射掃描電鏡是一款電子顯微鏡，它利用電子束對樣品進(jìn)行掃描，并通過檢測樣品表面產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等信號，來獲得樣品表面的高分辨率圖像。以下是它的基本使用方法。
1.樣品準(zhǔn)備
-清潔樣品：確保樣品表面干凈，無灰塵和污染。
-固定和染色：根據(jù)樣品性質(zhì)，可能需要將其固定、脫水，并進(jìn)行適當(dāng)?shù)娜旧?/div>
-制備樣品臺：將樣品牢固地固定在樣品臺上，確保在抽真空時(shí)不脫落。
2.啟動(dòng)儀器
-打開電源：按照操作手冊逐步開啟各個(gè)組件的電源，包括真空泵、電子槍、探測器等。
-預(yù)熱：儀器需要預(yù)熱一段時(shí)間，使各部件達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
3.系統(tǒng)校準(zhǔn)
-對齊SEM：依據(jù)操作手冊對SEM進(jìn)行初步的對齊，包括調(diào)整電子束的中心與探測器的對準(zhǔn)。
-調(diào)整真空：將樣品艙抽至適當(dāng)?shù)恼婵斩?，通常需要?0-5to10-3Torr之間。
4.設(shè)定操作參數(shù)
-選擇電子束流：根據(jù)觀察目的選擇合適的電子束流大小。
-設(shè)置放大倍數(shù)：根據(jù)需要觀察的細(xì)節(jié)水平設(shè)置初始放大倍數(shù)。
-調(diào)整掃描模式：選擇全掃描或局部掃描模式，以及決定掃描的速度和分辨率。
5.調(diào)整聚焦和對比度
-聚焦調(diào)整：通過高分辨率顯示模式，手動(dòng)調(diào)整聚焦直到圖像清晰。
-對比度調(diào)整：調(diào)整儀器的對比度控制以獲得好的圖像效果。
6.進(jìn)行觀察和成像
-掃描樣品：讓電子束在樣品表面上下移動(dòng)，同時(shí)探測器收集返回的信號。
-成像分析：根據(jù)收集到的信號生成樣品表面的二維圖像，并進(jìn)行分析。
7.數(shù)據(jù)記錄和保存
-記錄圖像：將獲得的掃描電鏡圖像保存在電腦中，并為每張圖片記錄下相應(yīng)的參數(shù)和說明。
-備份數(shù)據(jù)：定期備份所收集的數(shù)據(jù)到安全的存儲(chǔ)設(shè)備上。
8.關(guān)閉儀器
-保存數(shù)據(jù)：確保所有數(shù)據(jù)已保存，然后關(guān)閉SEM的軟件和硬件。
-關(guān)閉電源：依次關(guān)閉各個(gè)組件的電源，然后關(guān)閉主電源。
注意事項(xiàng)
-操作培訓(xùn)：由于SEM的操作較為復(fù)雜，使用者應(yīng)在經(jīng)過專門的培訓(xùn)后才進(jìn)行獨(dú)立操作。
-安全措施：遵守相關(guān)的安全規(guī)定，尤其在抽真空和放電時(shí)要格外小心。
-清潔維護(hù)：定期清潔儀器的各個(gè)部分，并進(jìn)行必要的校準(zhǔn)和維護(hù)工作。
蔡司場發(fā)射掃描電鏡提供了高分辨率和高對比度的表面圖像，是材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域中不可少的研究工具。正確使用和維護(hù)這些設(shè)備對于保證高質(zhì)量的數(shù)據(jù)輸出至關(guān)重要。
更新時(shí)間：2024-06-11
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